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上架时间:2025-06-17
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本文源自:金融界

金融界2025年5月29日消息,国家知识产权局信息显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司取得一项名为“晶圆清洁刷装置及化学机械抛光设备”的专利,授权公告号CN222903601U,申请日期为2024年07月。

专利摘要显示,本实用新型提供了一种晶圆清洁刷装置及化学机械抛光设备,包括:清洁刷本体;若干个刷棒,间隔地设于所述清洁刷本体的表面,所述刷棒远离所述清洁刷本体的一端为刷头;限位部,设于所述刷头且部分覆盖所述刷头,所述限位部用于对晶圆表面的颗粒进行限位。本实用新型通过在刷棒的刷头设置限位部,通过所述限位部对晶圆表面的颗粒进行限位,在清洁刷本体转动时,所述限位部对其限位的颗粒起到推动作用,并在化学溶液的配合下,所述限位部可以轻松地将颗粒从晶圆表面剥离,提高对晶圆表面的清洁效果,避免颗粒残留而影响产品良率。

天眼查资料显示,芯恩(青岛)集成电路有限公司,成立于2018年,位于青岛市,是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析,芯恩(青岛)集成电路有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目169次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息675条,此外企业还拥有行政许可55个。

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